1. Udara mentah berasal dari udara, melewati filter udara untuk menghilangkan debu dan partikel mekanis lainnya, kemudian masuk ke kompresor udara tanpa pelumasan untuk dikompresi oleh kompresor dua tahap hingga sekitar 0,65 MPa(g). Udara tersebut kemudian melewati pendingin dan masuk ke unit pra-pendinginan untuk didinginkan hingga 5~10℃.

Kemudian masuk ke alat pemurnian MS untuk menghilangkan uap air, CO2, dan karbon dioksida. Alat pemurnian terdiri dari dua wadah berisi saringan molekuler. Satu wadah sedang digunakan sementara wadah lainnya sedang diregenerasi dengan nitrogen limbah dari kotak pendingin dan melalui pemanasan pemanas.

2. Setelah dimurnikan, sebagian kecil digunakan sebagai gas bantalan untuk ekspander turbin, sebagian lainnya masuk ke kotak pendingin untuk didinginkan dengan refluks (oksigen murni, nitrogen murni, dan nitrogen limbah) di penukar panas utama. Sebagian udara diambil dari bagian tengah penukar panas utama dan menuju turbin ekspansi untuk menghasilkan udara dingin. Sebagian besar udara yang telah mengembang melewati subcooler yang didinginkan oleh oksigen dari kolom atas untuk dialirkan ke kolom atas. Sebagian kecilnya melewati bypass langsung ke pipa nitrogen limbah dan dipanaskan kembali untuk keluar dari kotak pendingin. Bagian udara lainnya terus didinginkan hingga mendekati suhu udara cair menuju kolom bawah.

3. Di kolom udara bagian bawah, udara dipisahkan dan dicairkan menjadi nitrogen cair dan udara cair. Sebagian nitrogen cair diambil dari bagian atas kolom bawah. Udara cair setelah didinginkan dan diatur alirannya dialirkan ke bagian tengah kolom atas sebagai refluks.

4. Oksigen produk diambil dari bagian bawah kolom atas dan dipanaskan kembali oleh subcooler udara yang diperluas, penukar panas utama. Kemudian dialirkan keluar dari kolom. Nitrogen limbah diambil dari bagian atas kolom atas dan dipanaskan kembali di subcooler dan penukar panas utama untuk dialirkan keluar dari kolom. Sebagian digunakan sebagai gas regenerasi untuk pemurni MS. Nitrogen murni diambil dari bagian atas kolom atas dan dipanaskan kembali dalam udara cair, subcooler nitrogen cair, dan penukar panas utama untuk dialirkan keluar dari kolom.

5. Oksigen yang keluar dari kolom distilasi dikompresi untuk dikirim ke pelanggan.